中国首台7纳米光刻机通过验收 荷兰被迫出售全球最先进光刻机

11月29日,中科院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目超分辨光刻装备研制通过验收,这是世界上首台用紫外光源实现了22纳米分辨率