提高晶圆加工质量！长鑫存储公开“光刻设备”专利

集微网消息，天眼查显示，近日长鑫存储技术有限公司公开多项专利，其中一条名称为“光刻设备”，公开号为CN114280891A。长鑫存储在专利文件中

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