三星自主开发88%的EUV薄膜产能提高20倍 这是真的吗?

三星自主开发88%的EUV薄膜产能提高20倍 这是真的吗?

三星自研EUV薄膜:透光率达88%,产能提升20倍光罩薄膜是极紫外 (EUV) 光刻工艺中的关键部件,指的是在光罩上展开一层薄膜,然后机器在上