东方晶源8英寸关键尺寸量测装备正式交付客户

集微网消息,近日,东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备(CD-SEM)交付燕东微电子,标志着该公司去年6月首台12英寸CD-SEM出机后,在电子束量测